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潽拓光电(推荐商家)-Edwards二手分子泵作用

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  • 主营产品:分子泵控制器,真空分子泵,AE电源,真空油泵,真空系统
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潽拓——Edwards二手分子泵,分子泵

Edwards爱德华STP-iXA3306C磁悬浮分子泵维修保养图



广州潽拓光电科技有限公司成功维修一台二手 

Edwards爱德华STP-iXA3306C磁悬浮分子泵维修图


清理出很多杂质(如下图)

EDWARDS STP-iXA2206和STP-iXA3306泵可以用于太阳能、玻璃涂层、半导体以及LCD刻蚀等方面。


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视频作者:广州潽拓光电科技有限公司






广州潽拓——{精},分子泵

     EDWARDS EPX180L 半导体干式真空泵 EPX180L维修


爱德华EPX 180真空干泵

       Edwards EPX 系列支持清洁和轻 型半导体加工应用,如灰化/剥离和注入端点 站应用。EPX 系列以极轻、的 封装提供工具上泵送功能,可实现异常清洁的真空。EPX 泵 采用已获zhuanli的独特单轴再生 Holweck® 分级机构,能够从大气压抽空到小于 7 x 10-7Torr 的极限压力。EPX 泵能够以模块化组件 提供增强的性能,既可集成到制程工具,可以远程安装。重量43.5KG。





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广州潽拓光电维修 爱德华 Edwards NEXT 2002000 VER.160W真空泵



分子泵的分类

        复合式分子泵的形式很多,按结构分,主要有两种:一种是涡轮叶片与盘式牵引泵的串联组合;另一种是涡轮叶片与筒式牵引泵的串联组合。涡轮级主要用来提高泵的抽速,一般采用有利于提高抽速的叶片形状,级数在 l0 级以内。牵引级主要用来增加泵的压缩比,提高泵的出口压力。



        盘式牵引级是在平板圆盘平面上按一定规律开出数条型线沟槽,然后将数块圆盘串接起来构成,型线有阿基米德螺线、对数螺线、圆弧线等。抽气时靠高速转动的圆盘对气体分子进行“拖动”,使其沿沟槽作由内向外及由外向内的往复折回的定向流动,从而达到抽气目的。