潽拓——Edwards二手分子泵,分子泵
Edwards爱德华STP-iXA3306C磁悬浮分子泵维修保养图
广州潽拓光电科技有限公司成功维修一台二手
Edwards爱德华STP-iXA3306C磁悬浮分子泵维修图
清理出很多杂质(如下图)
EDWARDS STP-iXA2206和STP-iXA3306泵可以用于太阳能、玻璃涂层、半导体以及LCD刻蚀等方面。
广州潽拓——{精},分子泵
EDWARDS EPX180L 半导体干式真空泵 EPX180L维修
爱德华EPX 180真空干泵
Edwards EPX 系列支持清洁和轻 型半导体加工应用,如灰化/剥离和注入端点 站应用。EPX 系列以极轻、的 封装提供工具上泵送功能,可实现异常清洁的真空。EPX 泵 采用已获zhuanli的独特单轴再生 Holweck® 分级机构,能够从大气压抽空到小于 7 x 10-7Torr 的极限压力。EPX 泵能够以模块化组件 提供增强的性能,既可集成到制程工具,可以远程安装。重量43.5KG。
潽拓——Edwards二手分子泵,分子泵
广州潽拓光电维修 爱德华 Edwards NEXT 2002000 VER.160W真空泵
分子泵的分类
复合式分子泵的形式很多,按结构分,主要有两种:一种是涡轮叶片与盘式牵引泵的串联组合;另一种是涡轮叶片与筒式牵引泵的串联组合。涡轮级主要用来提高泵的抽速,一般采用有利于提高抽速的叶片形状,级数在 l0 级以内。牵引级主要用来增加泵的压缩比,提高泵的出口压力。